產品概覽
R 5
COBRA
Mink
Merlin
Huckepack
Seco
Seco Print
Samos
Dolphin
Fossa
Puma
Panda
Dingo/Cat
Panther
Tyr
Phenix
Combi
技術資料
50 Hz
R 5
0004 B
0008 B
0010 C
0016 C
0021 C
0025 F
0040 F
0063 F
0100 F
抽氣速率
m³/h
4
8
10
16
20
25
40
63
100
極限壓力
hPa (mbar)
2
2
0.5
0.5
1/20
0.1
0.1
0.1
0.1
消耗功率
仟瓦
0.1
0.35
0.37
0.55
0.75
0.75
1.1
1.5
2.2
特殊機型
K
K/D/E
K/A/S/D
K/A/S/D/E
A/S/D/E
A/S/D
技術資料
50 Hz
R 5
0160 D
0202 D
0250 D
0302 D
0400 B
0502 B
0630 B
1000 B
1600 B
抽氣速率
m³/h
160
200
250
300
400
500
630
1000
1600
極限壓力
hPa (mbar)
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.3
0.3
消耗功率
仟瓦
4
4
5.5
5.5
11
11
15
22
30
特殊機型
A/S/G
A/S/G
A/S/G
A/S/G
A/S
A/S
A/S
技術資料
60 Hz
R 5
0004 B
0008 B
0010 C
0016 C
0021 C
0025 F
0040 F
0063 F
0100 F
抽氣速率
m³/h
4.8
9.6
12
19
24
30
48
76
120
極限壓力
hPa (mbar)
2
2
0.5
0.5
1/20
0.1
0.1
0.1
0.1
消耗功率
仟瓦
0.12
0.45
0.75
0.75
0.75
1.1
1.5
2.2
3.0
特殊機型
K
K/D/E
K/A/S/D
K/A/S/D/E
A/S/D/E
A/S/D
技術資料
60 Hz
R 5
0160 D
0202 D
0250 D
0302 D
0400 B
0502 B
0630 B
1000 B
1600 B
抽氣速率
m³/h
190
240
300
360
480
600
760
1200
1920
極限壓力
hPa (mbar)
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.3
0.3
消耗功率
仟瓦
5.5
5.5
7.5
7.5
15
15
18.5
30
37
特殊機型
A/S/G
A/S/G
A/S/G
A/S/G
A/S
A/S
A/S
配合製程應用而開發的真空泵浦
A 機型
水製程
本機型可容忍吸入較多水氣，適用於水氣含量較高的製程
D 機型
防爆機型
符合 94/9/EB (ATEX) (Ex II 2 G IIB3 T4)指令，
E 機型
Enivac
符合 94/9/EG (ATEX)指令， 適用於製程中含IIB3定義的爆炸性物質如油氣等
G機型
本機型可長時間運轉於粗略真空
K 機型
KB 機型
本機型為精巧設計版，可將泵浦安裝於系統與機台內部，不佔空間
S 機型
氧氣機型
本機型為特殊設計，適用於氧氣製程
