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R 5 - 油迴轉葉片式真空泵| 流程控制中最完美的真空泵
技術資料50 HzR 5
0004 B0008 B0010 C0016 C0021 C0025 F0040 F0063 F0100 F
抽氣速率m³/h48101620254063100
極限壓力hPa (mbar)220.50.51/200.10.10.10.1
消耗功率仟瓦0.10.350.370.550.750.751.11.52.2
特殊機型 KK/D/E K/A/S/DK/A/S/D/EA/S/D/EA/S/D
技術資料50 HzR 5
0160 D0202 D0250 D0302 D0400 B0502 B0630 B1000 B1600 B
抽氣速率m³/h16020025030040050063010001600
極限壓力hPa (mbar)0.10.10.10.10.10.10.10.30.3
消耗功率仟瓦445.55.51111152230
特殊機型A/S/GA/S/GA/S/GA/S/GA/SA/SA/S
技術資料60 HzR 5
0004 B0008 B0010 C0016 C0021 C0025 F0040 F0063 F0100 F
抽氣速率m³/h4.89.6121924304876120
極限壓力hPa (mbar)220.50.51/200.10.10.10.1
消耗功率仟瓦0.120.450.750.750.751.11.52.23.0
特殊機型 KK/D/E K/A/S/DK/A/S/D/EA/S/D/EA/S/D
技術資料60 HzR 5
0160 D0202 D0250 D0302 D0400 B0502 B0630 B1000 B1600 B
抽氣速率m³/h19024030036048060076012001920
極限壓力hPa (mbar)0.10.10.10.10.10.10.10.30.3
消耗功率仟瓦5.55.57.57.5151518.53037
特殊機型A/S/GA/S/GA/S/GA/S/GA/SA/SA/S


配合製程應用而開發的真空泵浦

A 機型 水製程
本機型可容忍吸入較多水氣,適用於水氣含量較高的製程 
D 機型 防爆機型
符合 94/9/EB (ATEX) (Ex II 2 G IIB3 T4)指令, 
E 機型 Enivac
符合 94/9/EG (ATEX)指令, 適用於製程中含IIB3定義的爆炸性物質如油氣等 
G機型 本機型可長時間運轉於粗略真空 
K 機型 KB 機型
本機型為精巧設計版,可將泵浦安裝於系統與機台內部,不佔空間 
S 機型 氧氣機型
本機型為特殊設計,適用於氧氣製程 

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